应用范围包括高速激光加工和硅片精密检测。
特点:
1.无刷力矩电机直接驱动
2.无齿槽设计提供卓越的速度稳定性
3.**的运动性能,误差小,无抖动
4.直连式高精度圆光栅反馈
5.高精度机械轴承支撑
6.-大载荷可达150kg
台面直径:57~240mm
反馈分辨率:0.036~13 arc sec
双向重复定位精度: 1arc sec
定位精度: 2 arc sec
轴跳: 0.5um
径跳: 1um